Principals requisits de rendiment dels objectius de pulverització
Puresa dels objectius de pulverització
La puresa és un dels principals índexs de rendiment de l'objectiu, ja que la puresa del material objectiu té una gran influència en el rendiment de la pel·lícula. No obstant això, en aplicacions pràctiques, els requisits de puresa dels materials objectiu també són diferents.
Contingut d’impureses dels objectius de pulverització
Les impureses del sòlid i del oxigen i del vapor d’aigua als porus són les principals fonts de les pel·lícules dipositades. Els diferents objectius tenen diferents requisits per a diferents continguts d’impureses. Per exemple, els objectius d'alumini pur i d'aliatge d'alumini utilitzats en la indústria dels semiconductors tenen requisits especials per al contingut de metalls alcalins i elements radioactius.
Densitat d’objectius de polvorització
Per tal de reduir la porositat en el sòlid de l'objectiu i millorar el rendiment de la pel·lícula polvoritzada, normalment es requereix que el blanc tingui una alta densitat. La densitat de l'objectiu no només afecta la velocitat de pulverització, sinó que també afecta les propietats elèctriques i òptiques de les pel·lícules. Com més gran és la densitat objectiu, millor serà el rendiment de la pel·lícula. A més, l'augment de la densitat i la resistència de l'objectiu permetrà que el blanc suporti millor l'estrès tèrmic durant la pulverització. La densitat és també un dels indicadors clau de rendiment dels objectius.
Distribució de la mida del gra i de la mida dels grans de blancs de polvorització
Normalment, l'objectiu és una estructura policristal·lina i la mida del gra pot ser de micres a mil·límetres. Per al mateix objectiu, la velocitat de polvorització de l'objectiu amb gra fi és més ràpida que la diana amb gra gruixut, i la distribució de gruix de la pel·lícula dipositada per l'objectiu amb diferència de mida de gra petita (distribució uniforme) és més uniforme.
Informació de contacte:
Correu electrònic: mail@refrachina.com
Adreça: Suite A2202-03, Edifici Internacional de l'Exposició de Qujiang, Carretera de Yanzhan, Xi'an,
710061, Xina
Telèfon: 86-29-85325399
Fax: 029-85325610
